哈尔滨工业大学（深圳）高真空电子束蒸镀系统、钙钛矿分析显微镜、手套箱采购项目更正公告

项目编号：CLF0119SZ11QY35

项目联系人：陈小姐

项目联系电话：-2309

二、原公告名称及地址时间等：

首次公告日期：2019年09月02日

本次变更日期：2019年09月11日

原公告项目名称：高真空电子束蒸镀系统、钙钛矿分析显微镜、手套箱采购项目（项目编号：CLF0119SZ11QY35）招标公告

原公告地址：中国政府采购网（）、深圳政府采购网（）、采购代理机构网站（）

三、更正事项、内容：

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四、其它补充事宜：

广东采联采购科技有限公司于2019年9月2日在中国政府采购网（）、深圳政府采购网（）、采购代理机构网站（）上发布的高真空电子束蒸镀系统、钙钛矿分析显微镜、手套箱采购项目（项目编号：CLF0119SZ11QY35）公开招标公告，因招标文件中的采购需求变化原因，现将招标文件部分内容作如下变更：

一、变更内容

（一）原招标文件第四章用户需求书第四项技术参数（一）镀膜机第4、6、7、8、11点：

“4、前级干泵加低温泵真空系统。低温泵对水汽抽速不小于7000升/秒，30分钟以内抽进10-4Pa，极限真空度优于3×10-7Torr。系统总漏率不大于5/s，系统在原厂组装并经过氦质谱检漏。常规的真空规系统：1个测量低真空的规，1个测量高真空的规，以及配套的线和表头。

6、样品托盘6寸硅片向下兼容，提供两套装载盘；坩埚容量：分子15cc，坩埚数量为4，可自动旋转坩埚，需提供备用坩埚至少一套6个。衬底前有气动控制的样品挡板。

7、电子枪功率大于等于10KW。电子枪有气动的挡板。

8、样品可公转，转速可调节，样品最高转速大于等于25rpm；可提供样品背部加热，最高温度大于等于200度，温度均匀性5%。

11、以铝或者钛为测试材料时，镀膜5K，采用圆周与中心五点测量法，直径4英寸样品金属膜的厚度均匀性低于3%。提供膜厚测试报告，并在厂验时安排测试。”

变更为：

“4、前级干泵加低温泵真空系统。低温泵对水汽抽速不小于4000升/秒，30分钟以内抽进10-4Pa，极限真空度优于3×10-7Torr。系统总漏率不大于5/s，系统在原厂组装并经过氦质谱检漏。常规的真空规系统：1个测量低真空的规，1个测量高真空的规，以及配套的线和表头。

6、样品托盘3吋以下兼容，提供两套装载盘；坩埚容量：分子15cc，坩埚数量为4，可自动旋转坩埚，需提供备用坩埚至少一套6个。衬底前有气动控制的样品挡板。

7、电子枪功率大于等于6KW。电子枪有气动的挡板。

8、样品不旋转；可提供样品背部液态氮冷却。

11、以铝或者钛为测试材料时，镀膜5K，采用圆周与中心五点测量法。提供膜厚测试报告，并在厂验时安排测试。”

（二）原招标文件第四章用户需求书第四项技术参数（一）镀膜机第14点“14、机器必须含有离子辅助系统。离子源阳极功率大于等于200W，控制功率大于等于1000W。”与第21点“21、工件盘可加热，数显温控仪控温，最高温度800℃。”整条删除。

（三）原招标文件第四章用户需求书第五项商务要求（二）免费保修期内售后服务要求：

“1、免费保修期货物免费保修期3年，时间自验收合格并交付使用之日起计算。在质保期内，免费维修与更换所有零配件。中标人需每年定期免费提供软件升级及硬件维护等服务。”

变更为：

“1、免费保修期货物免费保修期1年，时间自验收合格并交付使用之日起计算。在质保期内，免费维修与更换所有零配件。中标人需每年定期免费提供软件升级及硬件维护等服务。”

招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。如原招标文件与本文有不符之处，以本文为准。招标文件未变更部分，仍按原招标文件执行。

特此公告。

三、联系事项

（一）采购代理机构：广东采联采购科技有限公司

地址：深圳市福田区竹子林中国经贸大厦10A、B广东采联采购科技有限公司深圳分公司

联系人：陈小姐

联系电话：-2309

邮编：518040

邮箱：cailiansz@126.com

（二）采购人：哈尔滨工业大学（深圳）

地址：深圳市南山区西丽深圳大学城哈工大校区G栋409

联系人：肖老师

联系电话：

邮编：518000

特此公告。

发布人：广东采联采购科技有限公司

五、联系方式：

采购单位名称：哈尔滨工业大学（深圳）

采购单位地址：深圳市南山区西丽深圳大学城哈工大校区G栋409

采购单位联系方式：肖老师

采购代理机构全称：广东采联采购科技有限公司

采购代理机构地址：深圳市福田区竹子林中国经贸大厦10A、B广东采联采购科技有限公司深圳分公司

采购代理机构联系方式：陈小姐-2309